Swagelok, geliştirdiği yeni diyafram valfi ile on milyonlarca üretim döngüsü boyunca maksimum dozlama hassasiyeti, hızlı çalıştırma ve tutarlı performans sağlıyor.
Akışkan sistemi ürünleri, tertibatları ve ilgili hizmetlerin tedarikçisi Swagelok®, yonga verimini artırmada yarı iletken imalatçıları için gerekli olan tutarlılık ve uzun hizmet ömrünü karşılayan ALD7 ultra yüksek saflıkta (UHP) diyafram vanasını piyasaya sürdüğünü duyurdu. Swagelok’un mevcut birinci sınıf ALD6 valfiyle karşılaştırıldığında; daha iyi akış tutarlılığı, akış kapasitesi ve aktüatör hızı sağlayan ALD7, yonga imalatçılarının mevcut üretim süreçlerindeki sınırlamaların üstesinden gelmelerine ve talebe ayak uydurmalarına imkan tanımaları için gereken yüksek sıcaklıklarda iyi performans beklentisini karşılıyor.
ALD7 valfleri, mevcut valflerle aynı 1,5 inçlik (38,1 mm) yüz ölçümünde gelişmiş kapasite (0,7 Cv’ye kadar) sağlamak için yeni araçlara veya eski ekipmana entegre edilebilir ve bu da imalatçıların yongalara yönelik güçlü küresel talebe ayak uydurmasına yardımcı olur. ALD7 valfleri, önceki ALD6 modelinden bile daha hızlı ve tutarlı bir şekilde çalışarak on milyonlarca Atomik Katman Biriktirme (ALD) üretim döngüsünün üzerinde hassas dozlama sağlar. Aktüatörün açık ve kapalı tepki süresi 5 ms’den az olabilir. Aktüatör 150°C’ye (302°F) daldırılabilir. Valf gövdesi 200°C’ye kadar derecelendirilmiş yapısı, valfin yüksek sıcaklık iletimi gerektiren düşük buhar basınçlı öncüleri daha iyi desteklemesini sağlar. Bu, imalatçılara verimi en üst düzeye çıkarmak için gerekli kontrol derecesini sağlar. Entegre termal izolatöre sahip kompakt bir tasarıma sahip olan ALD7 valfleri, sistem tasarımcılarının yonga üretim araçlarının reaksiyon odasının yakınındaki sınırlı alanı en üst düzeye çıkarmasına olanak tanır. Valfler ayrıca ultra yüksek saflıkta tescilli Swagelok 316L VIM-VAR paslanmaz çelikten oluşan valf gövdeleriyle, ALD süreçlerinde kullanılan aşındırıcı gazlara karşı oldukça dirençlidir. Yarı iletken alet üreticileri, değişken proses koşullarında tutarlı performans sağlamak için ALD7 valflerine güvenebilir, bu da işletme maliyetlerini artırmaksızın verimi artırır.
Yeni ürünle ilgili açıklamalarda bulunan Swagelok Ürün Müdürü Ben Olechnowicz, “Yaklaşık 20 yıl önce, endüstrinin amaca uygun ilk ALD valfini geliştirmemizden bu yana, yonga üreticileri proses hacimlerini azaltmaya ve yonga verimini en üst düzeye çıkarmaya devam ederken, UHP valflerimizden ihtiyaç duyulan performans seviyelerini kavramak için yarı iletken kolundan müşterilerle çalıştık. Bu, yenilikçi düşüncenin izlenmesi ve daha hızlı harekete geçmek, daha aşırı koşullarda performans göstermek ve zorlu atomik katman süreçlerinde daha yüksek akış katsayılarına izin vermek için valfler geliştirmeyle sonuçlandı. ALD7’yi, tüm bunları kontrol eden güvenilir, 24 saat kesintisiz üretim valfi olarak tasarladık ve müşterilerimize görünüşte her zaman değişen ve üreticilerden daha fazlasını talep eden bir sektörde, lider olmak için gereken performans tutarlılığını getirdik” dedi.
ALD7 bugün, yüksek akışlı C-contalı modüler yüzeye montaj konfigürasyonunda veya boru alın kaynağı ve Swagelok VCR® yüz contası bağlantı uç bağlantıları ile düz konfigürasyonlarda bulunabiliyor. Ek bileşenler olarak yüksek sıcaklık elektronik konum sensörleri, optik konum sensörleri veya solenoid pilot valf konfigürasyonları da mevcut.
